HW-CS108-F/112-F
设备规格:8inch/12inch
产品特点: 1.外观简洁大方,整机采用PLC控制,易于操作,性能稳定; 2.功能:通过喷洒出微小且高压力的纯净水将切割后的晶圆清洗干净。 3.通过更换台盘能适应标准6”,8”,12”框架(Frame); 4.喷头喷洒范围可自动根据设定的晶圆大小调节,无需人工干预; 5.可以根据客户工艺不同,来编制不同程序控制。 6.具有“紧急停止”功能; 7.具有系统运行状态监控和设备故障报警功能;